implantacja jonów 1

noundomain: eventregister: specj.
Słowosieć [ver.5.0]
PolishPolish
Definition

domieszkowanie materiałów polegające na rozpędzeniu jonów w polu elektrycznym i zderzeniu z domieszkowanym materiałem.

  • 1.Jego zainteresowania naukowe obejmują: fizykę materiałów, a w szczególności fizykę półprzewodników. Jest jednym z pionierów, w skali światowej, zastosowań implantacji jonów wysokich energii do modyfikacji materiałów oraz metod analizy warstw powierzchniowych materiałów w oparciu o kulombowskie rozpraszanie wysokoenergetycznych lekkich jonów (RBS – Rutherford Backscattering Spectroscopy) i reakcji jądrowych (NRA – Nuclear Reaction Analysis).
  • 2.Jony dekaboranu mogą być stosowane w niskoenergetycznej implantacji jonów boru w produkcji półprzewodników.
FENG